vanne de régulation de débit de précision à semi-conducteur

SS-20E6 Sséries Vannes et raccords pour gaz semi-conducteurs haute pureté GEKO sont conçus pour les processus de fabrication de semi-conducteurs qui exigent ultra propre Performance et contrôle précis du débit. Fabriqué à partir de matériaux résistants à la corrosion tels que l'acier inoxydable et le fluoropolymère. Les vannes GEKO offrent une fiabilité exceptionnelle, une étanchéité parfaite et une compatibilité supérieure avec les gaz spéciaux. Elles sont idéales pour la fabrication de plaquettes, la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et d'autres applications critiques en salle blanche.